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                  石英是值得重視的半導(dǎo)體輔材，廣泛應(yīng)用于晶圓加工。石英玻璃憑借其高純度、耐高溫、低熱膨脹性、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)良性能。在半導(dǎo)體芯片制造加工中被廣泛應(yīng)用。